在等静压烧结前，最好打氮化硅蜂窝陶瓷载体粉料或达坏进行热处理或预烧结，可用常压、减压或热压的力式进行，使粉料晶体呈棱柱状的β相结构，坯休成为无开口气孔的烧结体，然后再实行等静压烧结，这样可以改善制品的结构性能，提高断裂强度．

    进行等静压烧结时两者兼用。先在坯体表面包上氧化待、石英．联化砧等纤维织成的布，再在织物表四涂上玻璃粉浆，这样可支接在密闭的炉膛或容器，抽真空，常温下包覆材料能透气，坯件孔隙中的气体可通过也贸构料坦小，然后加温使残留气体和粘合剂分解排除。随着温度的升高，表面的玻璃熔融后形成致密的包套，起传递温度、压力的介质作用。氧化铝瓷球这种包覆坯体的方法，适宜包摆带锐边、尖角等异形坯件．还有用在烧绪温度下仍呈固忠流动的，亡活性极末，如碳化硼。氮化硼、砍化硅等作填充料，作为传逐压力的第二介质，在烧结过中；要用氩、氮、氯等气体保趴以防坯件、包覆材料和炉膛的氧化或分解。
      等静压烧结能得到完全致密的氮化硅烧结体，需要陶瓷填料的烧纠助剂比热压烧结少得多(1％以下)，甚至可以不用烧结助剂，制得的坯体即可达到理论密度。例如：  用台0.6％金属地质的商品氮化硅粉，不再加任何添加剂，就能制得达到理论密度的坯体．这样保证了材料的高温强度，而且因为是等静压炔成的，所以坯体完全均匀一致，任何方向的强度都能达到热压法最强方N的强度。由于坏体收缩均勾，目前的技术水平对直径100mm的圆柱体尺寸公差已能控制在0.1mm以内，可实现无切削成形。
    等静压烧结也可以用来对反应烧结氮化硅进行重烧结，在1850一2050℃的高温和140MPa左右的压力下等静压2小时，可以获得接近理论密度的浇结体，其强度可提高三分之
    等粹压烧结氮化涟能近行批堑生产，对予用传统方法难以生产或者达不到质量要求的持殊氮化硅制甩这是一种理想的制备方法。